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2019-09-03

旋片真空泵在薄膜技术领域中的应用

薄膜技术多为无形但高效的,其应用包括:建筑玻璃上镀膜以隔热和防辐射,眼镜片上镀膜以防止眩光和划伤,光盘与冷光灯镀膜以加强光和射线的反射,工具和轴承上镀膜以避免磨损等。如果不采用旋片真空泵及特殊设计的真空部件,这些都不可能实现。那么,旋片真空泵在薄膜技术领域中的应用究竟发挥一个什么样子的作用?跟着普诺克的小编一起来了解下。

 

旋片真空泵


薄膜分类(按功能及其应用领域):

(1)电学薄膜

①半导体器件与集成电路中使用的导电材料与介质薄膜材料

②超导薄膜

③光电子器件中使用的功能薄膜

④薄膜敏感元件与固态传感器

⑤薄膜电阻、薄膜电容、薄膜阻容网络与混合集成电路

⑥薄膜太阳能电池

⑦平板显示器件

⑧用ZnO、AIN等薄膜制成的声表面波滤波器

⑨磁记录薄膜与薄膜磁头

 

(2)光学薄膜

易发彩导航减反射膜、反射膜、分光镜、滤光片;

照明光源所用的反热镜与冷光镜薄膜;

建筑物、汽车等交通工具所用的镀膜玻璃;

激光唱片与光盘中的光存储薄膜;

集成光学元件所用的介质薄膜与半导体薄膜。

 

(3)硬质膜、耐蚀膜、润滑膜

 

(4)有机分子薄膜

 

(5)装饰膜

 

(6)包装膜

 

薄膜是一种特殊的物质形态,由于其在厚度这一特定方向上尺寸很小,只是微观可测的量,而且在厚度方向上由于表面、界面的存在,使物质连续性发生中断,由此使得薄膜材料产生了与块状材料不同的独特性能。薄膜的制备方法很多,如气相生长法、液相生长法(或气、液相外延法)、氧化法、扩散与涂布法、电镀法等等,而每一种制膜方法中又可分为若干种方法。薄膜技术涉及的范围很广,它包括以物理气相沉积和化学气相沉积为代表的成膜技术,以离子束刻蚀为代表的微细加工技术,成膜、刻蚀过程的监控技术,薄膜分析、评价与检测技术等等。现在薄膜技术用旋片真空泵在电子元器件、集成光学、电子技术、红外技术、激光技术以及航天技术和光学仪器等各个领域都得到了广泛的应用,它们不仅成为一间独立的应用技术,而且成为材料表面改性和提高某些工艺水平的重要手段。

 

除了旋片真空泵在薄膜技术领域中的应用,普诺克旋片真空泵还常常应用于环保的工艺,有利于取代那些危害环境的工艺。真空泵及其它真空部件,可广泛应用于以下各工业领域:如测量仪器和检漏仪、食品真空包装、环保冰箱、空调、高纯度与高强度金属的生产、灯泡和彩色显像管、平面显示器制造等。


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